氣相沉積爐的用途：
  本化學氣相沉積石墨化一體爐可用於以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的複合材料的化學氣相沉積，如C/C複合材料、SiC複合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表麵增（zēng）碳處理、石墨烯的（de）生產。
 氣（qì）相沉積爐的特點：
  采用多（duō）功（gōng）能高溫設（shè）計，可實現化學（xué）氣相沉積和石墨化處（chù）理一次性完成。
  使用溫度高達2600，並可長時間穩定（dìng）可靠（kào）運行（háng）。
  采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換係統，可實現全溫度段的顯（xiǎn）示和控製。
  采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控製係統，使得設備節能省電（diàn），諧波分量小，對外部設備無幹擾。
  進出氣體的精確流量（liàng）顯示和控製，保證了（le）產品的穩定性。
  采用特殊（shū）結構沉積室，密封效（xiào）果好，抗汙染能力強； 
  采用多通道沉積氣路，流場均勻，無（wú）沉積死角，沉積效果好；
  特製的過濾（lǜ）係統（tǒng），對炭沉積過程中產生的焦油、固體（tǐ）粉塵（chén）、有機氣體（tǐ）等能進行有（yǒu）效處理；
 氣相沉積爐的技術參數：

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