用途

本化学气（qì）相沉积石墨化一体炉可用于以碳（tàn）氢气体（如C3H8等）为碳源（yuán）的复合材（cái）料的化学气相沉积，如C/C复合（hé）材（cái）料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理（lǐ）、石墨件的（de）表面（miàn）增碳处理、石（shí）墨（mò）烯的生产。

特（tè）点

●采用多功能高（gāo）温设计，可实现化学（xué）气相沉积和石墨化处理一次性完成。
●使用温（wēn）度高达2600，并可长时间稳定可靠运行。
●采用热电偶和红外测温仪组合（hé）的测温自动转换系统，可（kě）实现全温度（dù）段的显示和（hé）控制。
●采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制（zhì）系统，使得设备节能省电，谐波分量小，对外部设备（bèi）无干（gàn）扰。
●进出气体的精确流量显示（shì）和控制，保证了产品的稳定性。
●采用特殊（shū）结构沉（chén）积室，密封效果好，抗污染能力强;
●采用（yòng）多通道沉积气路，流（liú）场均匀，无沉积死（sǐ）角，沉积效果好（hǎo）;
●特制的过滤系统，对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理;

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株洲红亚电热设备有限公司

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