重結晶碳化(huà)矽燒結爐
重結晶碳化矽燒結爐的用途:
用於重結晶碳化矽的高溫燒結和高溫熱處理。
重結晶碳化矽燒結爐的特點:
1.高溫可達(dá)2500℃,且可在2400℃高(gāo)溫下長期穩定工作;
2.爐型有上裝料,下裝料、真空或(huò)氣氛保護(hù)等多種選擇;
3.爐體雙層水冷(lěng),密封性好,全密封結構,帶真空抽氣係統和氬氣置換係統,保護了(le)爐體內氣體的純度;
4.IGBT節能省電,采用立式真空感應加熱方式(shì),加熱效率高,節能省電。
5.空載:升(shēng)溫速率高達600℃/h;
6.產品生產周(zhōu)期短,從入爐到出爐時間隻需要24h-36h(大爐時間長);
7.采用紅外測溫技術,PID分(fèn)段程序控製升溫曲線。控溫精確,誤(wù)差小。
8.安全性高,采用雙層不鏽(xiù)鋼爐殼,夾層通水(shuǐ)冷卻,爐外殼溫度低於50℃。帶有氣壓,水壓和高溫報警,同時備有超壓泄氣裝置。
9.采用人機工控觸摸(mō)屏進行操控和溫度記錄,操作方便又實用。
10.可根據工藝需要加裝多級過濾係統,能有效的保護真空機組。
11.一機多爐模塊組合結構,可實現一機配多爐。
重結晶碳化矽燒結爐的配(pèi)置:
控製櫃與爐體組合:一機一爐/一機二爐/一機四爐/一機六爐U
爐體結構(gòu):立式上開蓋裝料,立式(shì)下開蓋(gài)裝料
爐(lú)門:絲杠升降/液壓升降/手動升降;手(shǒu)動鎖緊
爐殼:內(nèi)層不鏽鋼/全(quán)不(bú)鏽鋼
爐膽:石墨氈/複合硬(yìng)氈
工作溫度(dù):1600/2000/2400
工作氣氛:高真空/低真空/氫氣保護/惰性氣體保護
加熱器:鎢/模壓三高石墨(mò)/細顆粒石墨
真空(kōng)泵(bèng)、真空(kōng)計和紅外測溫儀:進口/國產
中頻電源:IGBT/KGPS
人機界麵:觸摸屏/工控機
PLC:歐姆龍/西門子(zǐ)
控溫儀表:日本(běn)島電/英國歐陸/國產宇電
記錄儀:無(wú)紙(zhǐ)記(jì)錄儀/有紙記錄儀;進(jìn)口/國產
電器元件(jiàn):正泰/施耐德/西門子